EUV-Lithographie: Deutscher Zukunftspreis 2020 für neuartige Mikrochips

Deutscher Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet (v.l.): Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier, Dr. Michael Kösters (Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing), Dr. Peter Kürz (Zeiss Sparte SMT) und Dr. Sergiy Yulin (Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF) - (Foto: Deutscher Zukunftspreis/Bildschön)

Die Entwickler der Carl Zeiss SMT GmbH aus Oberkochen, der Trunpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH aus Ditzingen und des Fraunhofer Instituts für Angewandte Optik und Feinmechanik aus Jena sind mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet worden. Dr. Peter Kürz (Carl Zeiss SMT), Dr. Michael Kösters (Trumpf) und Dr. Sergiy Yulin (Fraunhofer) wurden für ihr Projekt 'EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter' geehrt, eine Fertigungstechnik, die die Herstellung von Mikrochips auf ein neues Niveau hebt. EUV steht für extrem ultraviolettes Licht mit äußerst kurzer Wellenlänge. Damit lassen sich deutlich leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen als dies zuvor möglich war.

Leistungsstarke Mikrochips sind eine Grundvoraussetzung dafür, dass digital vernetzte Systeme, bei denen große Mengen von Daten ausgetauscht werden, funktionieren können. Durch sie werden etwa automatisierte Anwendungen im Haushalt (Smart Home), in der Fertigung (Smart Factory), Systeme Künstlicher Intelligenz und Technologien wie das autonome Fahren überhaupt erst möglich.

Bundeswirtschaftsminister Peter Altmaier: "Die Unternehmen Carl Zeiss und Trumpf haben gemeinsam mit dem Fraunhofer IOF die Fertigungstechnologie für Mikrochips auf eine neue Stufe gehoben. Damit bringen sie die Leistungsfähigkeit der Chips dahin, wo wir sie für Zukunftsanwendungen wie das autonome Fahren und die Künstliche Intelligenz benötigen. Ich bin stolz, dass das Bundeswirtschaftsministerium durch die Förderung im Rahmen eines wichtigen Projekts von gemeinsamem europäischen Interesse (IPCEI) zu dieser Entwicklung beigetragen hat. Im Zuge des Projekts wurden bereits 1.200 neue Arbeitsplätze bei Zeiss geschaffen. Das Projekt ist ein leuchtendes Beispiel dafür, was wir mit den IPCEI-Förderungen erreichen wollen und können: innovative Produkte auf Weltklasseniveau, internationale Wettbewerbsfähigkeit in Zukunftsfeldern und Arbeitsplätze in Deutschland und Europa."

Die Preisverleihung durch Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier wurde heute Abend (25.11.) per Livestream übertragen. Der Deutsche Zukunftspreis für Technik und Innovation ist mit 250 000 Euro dotiert.